三轴微调结构的制作方法

该技术已申请专利。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系技术所有人。

1.本实用新型有关于一种三轴微调结构。


背景技术：

2.半导体制程中制造出晶圆后需要进行检测，利用一机台将可移动地检测元件将晶圆的复数晶片进行检测，由于晶片为体积非常小的物件，因此在进行检测前需要先将检测元件与机台(如探针、光感元件等)进行三轴(x、y、z轴)校正，而习知三轴微调结构是通过三个操作螺杆分别自三轴转动进行操作，如此会使得操作过程复杂，且需要较大的工作空间，存在亟待改善的缺弊。
3.因此，有必要提供一种新颖且具有进步性的三轴微调结构，以解决上述问题。


技术实现要素：

4.本实用新型的主要目的在于提供一种三轴微调结构，可从同一侧进行操作即可将工作部进行三轴微调的作业，具有操作过程简单及工作空间需求较小的优点。
5.为达成上述目的，本实用新型提供一种三轴微调结构，包括一底座、一第一滑座、一第二滑座、一第三滑座、一第一调整结构、一第二调整结构及一第三调整结构。该底座定义相互垂直的一x轴、一y轴、一z轴。该第一滑座沿该x轴滑设于该底座。该第二滑座沿该y轴滑设于该第一滑座。该第三滑座沿该z轴滑设于该第二滑座，该第三滑座供装设一工作部。该第一调整结构设于该底座与该第一滑座其中一者，包括围绕该z轴螺动的一第一螺动件及围绕该y轴摆动的一第一摆动块，通过螺动该第一螺动件以推抵该第一摆动块摆动，以使该第一摆动块推抵该底座与该第一滑座相对滑动。该第二调整结构设于该第一滑座与该第二滑座其中一者，包括围绕该z轴螺动的一第二螺动件及围绕该x轴摆动的一第二摆动块，通过螺动该第二螺动件以推抵该第二摆动块摆动，以使该第二摆动块推抵该第一滑座与该第二滑座相对滑动。该第三调整结构设于该第二滑座与该第三滑座其中一者，包括围绕该z轴螺动的一第三螺动件，通过螺动该第三螺动件以推抵该第二滑座与该第三滑座相滑动。
6.较佳地，该底座沿该x轴方向远离该第三滑座的一端设有一立柱，该第一螺动件螺接于该立柱，该第一摆动块枢设于该立柱并抵顶于该第一滑座。
7.较佳地，该立柱远离该底座的一端横设有一延伸臂，该延伸臂沿该y轴延伸，该第一螺动件自该延伸臂远离该底座的一侧螺接穿设于该延伸臂，该第一摆动块枢接于该延伸臂。
8.较佳地，该底座与该第一滑座其中一者设有一第一滑轨、另一者设有一第一滑槽，该第一滑轨与该第一滑槽沿该x轴相滑接，该立柱与该第一滑座之间另设有一第一弹性件，该第一弹性件使该第一滑座具有朝该第一摆动块弹抵的趋势。
9.较佳地，该第二螺动件自该第二滑座远离该底座的一侧螺接穿设于该第二滑座，该第二摆动块枢接于该第二滑座并抵顶于该第一滑座。
10.较佳地，该第一滑座与该第二滑座其中一者设有一第二滑轨、另一者设有一第二
滑槽，该第二滑轨与该第二滑槽沿该y轴相滑接，该第一滑座与该第二滑座之间另设有一第二弹性件，该第二弹性件使该第一滑座具有朝该第二摆动块弹抵的趋势。
11.较佳地，该第二滑座包括相弯折的一第一部件与一第二部件，该第一部件沿该x轴延伸，该第二部件沿该z轴延伸，该第一部件朝下的一侧设有该第二滑槽，该第三滑座滑设于该第二部件远离该第一滑座的一侧。
12.较佳地，该第三螺动件螺接穿设于该第二滑座，该第二滑座与该第三滑座其中一者设有一第三滑轨、另一者设有一第三滑槽，该第三滑轨与该第三滑槽沿该z轴相滑接，该第二滑座与该第三滑座之间另设有一第三弹性件，该第三弹性件使该第三滑座具有朝该第三螺动件滑动的趋势。
13.较佳地，该第二滑座远离该底座的一端设有一延伸块，该第三螺动件螺接穿设于该延伸块，该第二滑座朝向该底座的一端延伸设有一挡块，该挡块设有一插件，该第三弹性件的一端套设于该插件。
14.较佳地，该底座与该第一滑座其中一者设有一第一滑轨、另一者设有一第一滑槽，该第一滑轨与该第一滑槽沿该x轴相滑接，该立柱与该第一滑座之间另设有一第一弹性件，该第一弹性件使该第一滑座具有朝该第一摆动块弹抵的趋势；该第一弹性件为拉伸弹簧；该第二螺动件自该第二滑座远离该底座的一侧螺接穿设于该第二滑座，该第二摆动块枢接于该第二滑座并抵顶于该第一滑座；该第一滑座与该第二滑座其中一者设有一第二滑轨、另一者设有一第二滑槽，该第二滑轨与该第二滑槽沿该y轴相滑接，该第一滑座与该第二滑座之间另设有一第二弹性件，该第二弹性件使该第一滑座具有朝该第二摆动块弹抵的趋势；该第二弹性件为拉伸弹簧；该第二滑座包括相弯折的一第一部件与一第二部件，该第一部件沿该x轴延伸，该第二部件沿该z轴延伸，该第一部件朝下的一侧设有该第二滑槽，该第三滑座滑设于该第二部件远离该第一滑座的一侧；该第三螺动件螺接穿设于该第二滑座，该第二滑座与该第三滑座其中一者设有一第三滑轨、另一者设有一第三滑槽，该第三滑轨与该第三滑槽沿该z轴相滑接，该第二滑座与该第三滑座之间另设有一第三弹性件，该第三弹性件使该第三滑座具有朝该第三螺动件滑动的趋势；该第三弹性件为压缩弹簧；该第二滑座远离该底座的一端设有一延伸块，该第三螺动件螺接穿设于该延伸块，该第二滑座朝向该底座的一端延伸设有一挡块，该挡块设有一插件，该第三弹性件的一端套设于该插件；该第一滑座沿该x轴远离该工作部的一端的下侧设有该第一滑槽，另一端的上侧设有该第二滑轨；该第一滑座沿该y轴的一端设有一凸柱，该凸柱沿该y轴方向延伸，该第一摆动块抵顶于该凸柱，该第一滑座沿该y轴相对该凸柱的一端设有一凸块，该凸块沿该z轴方向延伸，该第二摆动块抵顶于该凸块。
附图说明
15.图1为本实用新型的一较佳实施例的立体图。
16.图2至图3为本实用新型的一较佳实施例的分解图。
17.图4至图6为本实用新型的一较佳实施例的作动示意图。
具体实施方式
18.以下仅以实施例说明本实用新型可能的实施态样，然并非用以限制本实用新型所
欲保护的范畴，合先叙明。
19.请参考图1至6，其显示本实用新型的一较佳实施例，本实用新型的三轴微调结构包括一底座1、一第一滑座2、一第二滑座3、一第三滑座4、一第一调整结构5、一第二调整结构6及一第三调整结构7。
20.该底座1定义相互垂直的一x轴l1、一y轴l2、一z轴l3。该第一滑座2沿该x轴l1滑设于该底座1。该第二滑座3沿该y轴l2滑设于该第一滑座2。该第三滑座4沿该z轴l3滑设于该第二滑座3，该第三滑座4供装设一工作部9，该工作部9可另供装设探针或感光元件等工作元件(未绘示)，该底座1供装设于一机台(未绘示)。
21.该第一调整结构5设于该底座1与该第一滑座2其中一者，包括围绕该z轴l3螺动的一第一螺动件51及围绕该y轴l2摆动的一第一摆动块52，通过螺动该第一螺动件51以推抵该第一摆动块52摆动，以使该第一摆动块52推抵该底座1与该第一滑座2相对滑动(如图4所示)。
22.该第二调整结构6设于该第一滑座2与该第二滑座3其中一者，包括围绕该z轴l3螺动的一第二螺动件61及围绕该x轴l1摆动的一第二摆动块62，通过螺动该第二螺动件61以推抵该第二摆动块62摆动，以使该第二摆动块62推抵该第一滑座2与该第二滑座3相对滑动(如图5所示)。
23.该第三调整结构7设于该第二滑座3与该第三滑座4其中一者，包括围绕该z轴l3螺动的一第三螺动件71，通过螺动该第三螺动件71以推抵该第二滑座3与该第三滑座4相滑动(如图6所示)。
24.借此，由于该第一螺动件51、该第二螺动件61及该第三螺动件71皆围绕该z轴l3螺动，因此工作人员可直接通过该三轴微调结构沿该z轴l3的一侧转动该第一螺动件51、该第二螺动件61及该第三螺动件71，即可使该工作部9相对该底座1进行三轴微调，因此本实用新型具有操作过程简单及工作空间需求较小的优点
25.具体而言，该底座1沿该x轴l1方向远离该第三滑座4的一端设有一立柱11，该第一螺动件51螺接于该立柱11，该第一摆动块52枢设于该立柱11并抵顶于该第一滑座2。于本实施例中该立柱11远离该底座1的一端横设有一延伸臂12，该延伸臂12沿该y轴l2延伸，该第一螺动件51自该延伸臂12远离该底座1的一侧螺接穿设于该延伸臂12，该第一摆动块52枢接于该延伸臂12，因此螺动该第一螺动件51时该第一摆动块52即可推抵该第一滑座2相对该底座1滑动。
26.其中，该底座1与该第一滑座2其中一者设有一第一滑轨81、另一者设有一第一滑槽82，该第一滑轨81与该第一滑槽82沿该x轴l1相滑接，该立柱11与该第一滑座2之间另设有一第一弹性件83，该第一弹性件83使该第一滑座2具有朝该第一摆动块52弹抵的趋势，如此当该第一螺动件51复位螺动时，该第一滑座2亦可进行复位滑动。于本实施例中该第一弹性件83为拉伸弹簧。
27.进一步的说，该第二螺动件61自该第二滑座3远离该底座1的一侧螺接穿设于该第二滑座3，该第二摆动块62枢接于该第二滑座3并抵顶于该第一滑座2。其中该第一滑座2与该第二滑座3其中一者设有一第二滑轨84、另一者设有一第二滑槽85，该第二滑轨84与该第二滑槽85沿该y轴l2相滑接，该第一滑座2与该第二滑座3之间另设有一第二弹性件86，该第二弹性件86使该第一滑座2具有朝该第二摆动块62弹抵的趋势。如此当该第二螺动件61复
位螺动时，该第二滑座3亦可进行复位滑动。于本实施例中该第二弹性件86亦为拉伸弹簧，该第一滑座2沿该x轴l1远离该工作部9的一端的下侧设有该第一滑槽82，另一端的上侧设有该第二滑轨84。
28.于本实施例中该第二滑座3包括相弯折的一第一部件31与一第二部件32，该第一部件31沿该x轴l1延伸，该第二部件32沿该z轴l3延伸，该第一部件31朝下的一侧设有该第二滑槽85，该第三滑座4滑设于该第二部件32远离该第一滑座2的一侧，该第一部件31与一第二部件32相弯折可使该第一滑座2与该底座1位于该第一部件31的下侧，以减少该三轴微调结构的整体体积。
29.其中，该第三螺动件71螺接穿设于该第二滑座3，该第二滑座3与该第三滑座4其中一者设有一第三滑轨87、另一者设有一第三滑槽88，该第三滑轨87与该第三滑槽88沿该z轴l3相滑接，该第二滑座3与该第三滑座4之间另设有一第三弹性件89，该第三弹性件89使该第三滑座4具有朝该第三螺动件71滑动的趋势。于本实施例中该第三弹性件89为压缩弹簧。
30.要说明的是，该第二滑座3远离该底座1的一端设有一延伸块33，该第三螺动件71螺接穿设于该延伸块33，该第二滑座3朝向该底座1的一端延伸设有一挡块34，该挡块34设有一插件35，该第三弹性件89的一端套设于该插件35，以定位该第三弹性件89。
31.于本实施例中该第一滑座2沿该y轴l2的一端设有一凸柱21，该凸柱21沿该y轴l2方向延伸，该第一摆动块52抵顶于该凸柱21，以带动该第一滑座2与该底座1相滑动，该第一滑座2沿该y轴l2相对该凸柱21的一端设有一凸块22，该凸块22沿该z轴l3方向延伸，该第二摆动块62抵顶于该凸块22，以带动该第一滑座2与该第二滑座3相滑动。
32.以上所述是本实用新型的较佳实施例及其所运用的技术原理，对于本领域的技术人员来说，在不背离本实用新型的精神和范围的情况下，任何基于本实用新型技术方案基础上的等效变换、简单替换等显而易见的改变，均属于本实用新型保护范围之内。