含磷配件的清洗装置的制作方法
该技术已申请专利。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系技术所有人。

1.本实用新型涉及化工槽技术领域,尤其涉及一种含磷配件的清洗装置。
背景技术:
2.如今,ph3(磷化氢)在半导体材料生长中广泛应用,设备在材料生长过程中会产生很多含磷的过滤器、含磷桶、含磷管道等。这些含磷的配件使用一定周期后会定期拆下来清洗,一般使用种配件都是用超声槽或者超声清洗机,但清洗机的槽体通常设计为底部排水或者侧面排水,而这在清洗过程中会产生一些问题。
3.在底部排水的清洗设备中,由于磷比水重,磷在热水清洗过程中,会化为液态进入排水口,冷却后磷变为固态,凝固在排水口内部,从而堵塞管道,而且大量的磷进入废液池,会增加废水处理成本,而且会有一定的安全风险。在槽内有磷的情况下,如果不小心把槽内水排干净,还会出现磷自燃的安全风险。在侧面排水的清洗设备中,侧面排水可以对磷进行收集,但磷收集完成后想把槽内部的残液排干净,需要人为把残留的水清理出来,操作不方便。
4.因此,现有技术有待于改进。
技术实现要素:
5.本实用新型要解决的技术问题在于,现有的含磷配件的清洗装置的槽体在清洗中存在一些问题,因为本实用新型提供一种能够减少废水处理成本、降低磷自燃的安全风险、操作方便的含磷配件的清洗装置用于解决上述问题。
6.本实用新型解决技术问题所采用的技术方案如下:
7.本实用新型提供一种含磷配件的清洗装置,其包括:
8.清洗槽,用于装载清洗药液;
9.排水口,设置在所述清洗槽的底部;
10.排水管,穿设于所述排水口内;
11.其中,所述排水管设置供清洗药液排出的孔洞,所述孔洞位于所述清洗槽内并与所述清洗槽的底部间隔设置,所述排水管内设置阀门,所述阀门位于所述孔洞的下方。
12.在一种实现方式中,所述排水管为可拆卸式管道。
13.在一种实现方式中,所述孔洞距离所述清洗槽的底部的高度为10-20cm。
14.在一种实现方式中,所述孔洞设置在所述排水管的侧面或顶面。
15.在一种实现方式中,所述排水管的阀门设置在所述排水管靠近所述排水口的一端。
16.在一种实现方式中,所述排水口和所述排水管设置在所述清洗槽底部的中间位置,所述排水管包括伸出所述排水口后的延长段。
17.在一种实现方式中,所述阀门为球阀。
18.在一种实现方式中,所述含磷配件的清洗装置还包括设置在所述清洗槽内的清洗
组件。
19.在一种实现方式中,所述清洗组件为喷淋臂或超声波发生器。
20.在一种实现方式中,所述超声波发生器有若干个并均匀分布在所述清洗槽的四周。
21.有益效果:本实用新型提供的含磷配件的清洗装置,其通过设置清洗槽、排水口和排水管,并在所述排水管的表面设置供液体排出的孔洞,所述孔洞位于所述清洗槽内并与所述清洗槽的底部间隔设置,使得药液不能一次排干净,当药液冷却后磷沉积在所述清洗槽底部,不会进入排水管道,从而降低废水处理成本;同时能够避免药液一次性排干后沉积的磷产生自燃,降低安全风险,提供一种结构简单、清洗效果佳且操作简单、能够减少废水处理成本的含磷配件的清洗装置。
附图说明
22.图1是本实用新型提供的含磷配件的清洗装置的整体结构示意图;
23.图2是图1所示的含磷配件的清洗装置的正视图;
24.图3是图2所示的含磷配件的清洗装置的剖面结构示意图。
25.图中:100含磷配件的清洗装置,10清洗槽,20排水口,30排水管,40阀门,50孔洞。
具体实施方式
26.为使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚、明确,以下参照附图,并举实施例对本实用新型进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
27.本技术领域技术人员可以理解,除非特意声明,这里使用的单数形式“一”、“一个”、“所述”和“该”也可包括复数形式。应该进一步理解的是,本实用新型的说明书中使用的措辞“包括”是指存在所述特征、整数、步骤、操作、元件和/或组件,但是并不排除存在或添加一个或多个其他特征、整数、步骤、操作、元件、组件和/或它们的组。应该理解,当我们称元件被“连接”或“耦接”到另一元件时,它可以直接连接或耦接到其他元件,或者也可以存在中间元件。此外,这里使用的“连接”或“耦接”可以包括无线连接或无线耦接。这里使用的措辞“和/或”包括一个或更多个相关联的列出项的全部或任一单元和全部组合。
28.在本实用新型实施例的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型实施例和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型实施例的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
29.在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接或可以相互通信;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。需要说
明的是,在不冲突的情况下,本实用新型中的实施例和实施例中的特征可以相互结合。
30.请结合参阅图1-图3,图1是本实用新型提供的含磷配件的清洗装置的整体结构示意图,图2是图1所示的含磷配件的清洗装置的正视图,图3是图2所示的含磷配件的清洗装置的剖面结构示意图。
31.本实用新型提供一种含磷配件的清洗装置100,其包括清洗槽10、排水口20和排水管30,其中所述清洗槽10用于放置清洗含磷配件的清洗药液;所述排水口20设置在所述清洗槽10的底部;所述排水管30穿设于所述排水口20内。其中,所述排水管30设置供清洗药液排出的孔洞50,所述孔洞50位于所述清洗槽10内并与所述清洗槽10的底部间隔设置,所述排水管30内设置阀门40,所述阀门40位于所述孔洞50的下方。具体的,所述孔洞50设置在所述排水管30的侧面或顶面,在本实施例中,所述孔洞50设置在所述排水管30的侧面。在本实施例中,当需要清洗含磷配件时,将含磷配件放置在所述清洗槽10内进行清洗,在清洗时关闭所述阀门40,排液时打开所述阀门40,使得清洗的药液通过所述孔洞50排除,使得药液不能一次排干净,当药液冷却后磷沉积在所述清洗槽10底部,不会进入排水管道,从而降低废水处理成本。
32.进一步的,所述排水管30为可拆卸式管道。当所述排水管30选择为可拆卸管道,使得所述含磷配件的清洗装置能够在用药液清洗配件后,将把所述清洗槽10内的磷收集干净后,将可拆卸式管道拆除,即可将所述清洗槽10内的废液排干净,操作简单方便。
33.具体的,所述清洗槽10为空心槽体,用于放置待清洗的含磷配件及注入清洗药液。所述清洗槽10的外形轮廓不受限制,可以为盆状,也可以是矩形或类矩形。所述排水口20为设置在所述清洗槽10的底部,更具体的,所述清洗槽10的底部设置凹槽(图未标示),所述凹槽内设置所述排水口20。在所述凹槽内设置所述排水口20,使得后续的排液操作更加方便、快捷。
34.在本实施例中,所述排水管30包括伸出所述排水口20后的延长段,所述排水口20和所述排水管30设置在所述清洗槽10底部的中间位置,便于清洗槽10内的清洗药液排出所述含磷配件的清洗装置100,同时,也便于在拆卸所述排水管30后,能够清洁所述清洗槽10底部的药液。
35.具体的,所述排水管30的阀门40设置在所述排水管30靠近所述排水口20的一端。所述阀门40用于控制清洁药液的排除,当清洁时,需要关闭所述阀门40,当排出清洁药液时,需要打开所述阀门40。进一步的,所述阀门50为球阀。球阀它具有旋转90度的动作,旋塞体为球体,有圆形通孔或通道通过其轴线。球阀在管路中主要用来做切断、分配和改变介质的流动方向,它只需要用旋转90度的操作和很小的转动力矩就能关闭严密。所述球阀具有耐磨性好、密封性好、开关轻且使用寿命长等特点,能够适用于本实施例中。
36.在本实施例中,所述孔洞50距离所述清洗槽10的底部的高度为10-20cm。所述孔洞50设置在靠近所述清洗槽10的高度时,既能够便于排出清洗药液,又能够保留一定量的药液在所述清洗槽10内,避免磷产生自燃。所述孔洞50的设置配合可拆卸的所述排水管30,能够灵活控制需要排出的清洁药液的时间和排出量。
37.在一些实施例中,所述含磷配件的清洗装置100还包括设置在所述清洗槽10内的清洗组件(图未标示)。若只是清洗药液进行浸泡清洗,其清洗效果不佳,因此可以设置所述清洗组件用于配合清洗药液药液对含磷配件进行清洗。进一步的,所述清洗组件为喷淋臂
或超声波发生器。优选的,当所述清洗组件选择为超声波发生器时,所述超声波发生器有若干个并均匀分布在所述清洗槽的四周。
38.在其他实施例中,所述含磷配件的清洗装置100还可以包括循环管(图未示),所述循环管设置在所述清洗槽10的侧面或者底部,所述循环管用于注入清洗药液,便于充分利用清洗药液进行清洁含磷配件。
39.在其他实施例中,所述含磷配件的清洗装置100还可以包括盖板(图未示),所述盖板设置在所述清洗槽10上并覆盖所述清洗槽10的上部,从而在所述含磷配件的清洗装置100进行作业时能够防止液体溅出来。
40.在其他实施例中,所述含磷配件的清洗装置100还可以包括加热器(图未示),所述加热器设置在所述清洗槽10内部,所述加热器用于加热清洗药液,促进清洁反应及速率。
41.在其他实施例中,所述含磷配件的清洗装置100还可以包括过滤装置(图未示),所述过滤装置设置在所述排水管30内,所述过滤装置包括过滤网,所述过滤网设置在所述排水管30靠近所述排水口20一端。
42.本实用新型提供的所述含磷配件的清洗装置100的工作原理如下:
43.当清洗含磷配件时,将所述阀门40关闭,清洗后排液时将所述阀门40打开,清洗药液从所述孔洞50流经所述排水管30通向所述排水口20,由于孔洞50距离所述清洗槽10的底部还有一段距离,清洗药液还会残留在所述清洗槽10内,避免磷暴露在空气中自燃。当药液冷却后,磷沉积在所述清洗槽10中,磷不会随清洗药液进入管道,从而避免磷堵塞所述排水管30,同时降低废水处理成本。当把所述清洗槽10内的磷处理干净后,拆除可拆卸式的排水管30,将清洗槽10内的废液通过所述排水口20排出。
44.总的来说,本实用新型提供的含磷配件的清洗装置100,其通过设置清洗槽10、排水口20和排水管30,并在所述排水管30的表面设置供液体排出的孔洞50,所述孔洞50位于所述清洗槽10内并与所述清洗槽10的底部间隔设置,使得药液不能一次排干净,当药液冷却后磷沉积在所述清洗槽10底部,不会进入排水管道,从而降低废水处理成本;同时能够避免药液一次性排干后沉积的磷产生自燃,减小安全风险,提供一种结构简单、清洗效果佳且操作简单、能够减少废水处理成本的含磷配件的清洗装置100。此外,当所述排水管30选择为可拆卸管道,使得所述含磷配件的清洗装置100能够在用药液清洗配件后,将把所述清洗槽10内的磷收集干净后,将可拆卸式管道拆除,即可将所述清洗槽10内的废液排干净,操作简单方便。
45.最后应说明的是:以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。

1.本实用新型涉及化工槽技术领域,尤其涉及一种含磷配件的清洗装置。
背景技术:
2.如今,ph3(磷化氢)在半导体材料生长中广泛应用,设备在材料生长过程中会产生很多含磷的过滤器、含磷桶、含磷管道等。这些含磷的配件使用一定周期后会定期拆下来清洗,一般使用种配件都是用超声槽或者超声清洗机,但清洗机的槽体通常设计为底部排水或者侧面排水,而这在清洗过程中会产生一些问题。
3.在底部排水的清洗设备中,由于磷比水重,磷在热水清洗过程中,会化为液态进入排水口,冷却后磷变为固态,凝固在排水口内部,从而堵塞管道,而且大量的磷进入废液池,会增加废水处理成本,而且会有一定的安全风险。在槽内有磷的情况下,如果不小心把槽内水排干净,还会出现磷自燃的安全风险。在侧面排水的清洗设备中,侧面排水可以对磷进行收集,但磷收集完成后想把槽内部的残液排干净,需要人为把残留的水清理出来,操作不方便。
4.因此,现有技术有待于改进。
技术实现要素:
5.本实用新型要解决的技术问题在于,现有的含磷配件的清洗装置的槽体在清洗中存在一些问题,因为本实用新型提供一种能够减少废水处理成本、降低磷自燃的安全风险、操作方便的含磷配件的清洗装置用于解决上述问题。
6.本实用新型解决技术问题所采用的技术方案如下:
7.本实用新型提供一种含磷配件的清洗装置,其包括:
8.清洗槽,用于装载清洗药液;
9.排水口,设置在所述清洗槽的底部;
10.排水管,穿设于所述排水口内;
11.其中,所述排水管设置供清洗药液排出的孔洞,所述孔洞位于所述清洗槽内并与所述清洗槽的底部间隔设置,所述排水管内设置阀门,所述阀门位于所述孔洞的下方。
12.在一种实现方式中,所述排水管为可拆卸式管道。
13.在一种实现方式中,所述孔洞距离所述清洗槽的底部的高度为10-20cm。
14.在一种实现方式中,所述孔洞设置在所述排水管的侧面或顶面。
15.在一种实现方式中,所述排水管的阀门设置在所述排水管靠近所述排水口的一端。
16.在一种实现方式中,所述排水口和所述排水管设置在所述清洗槽底部的中间位置,所述排水管包括伸出所述排水口后的延长段。
17.在一种实现方式中,所述阀门为球阀。
18.在一种实现方式中,所述含磷配件的清洗装置还包括设置在所述清洗槽内的清洗
组件。
19.在一种实现方式中,所述清洗组件为喷淋臂或超声波发生器。
20.在一种实现方式中,所述超声波发生器有若干个并均匀分布在所述清洗槽的四周。
21.有益效果:本实用新型提供的含磷配件的清洗装置,其通过设置清洗槽、排水口和排水管,并在所述排水管的表面设置供液体排出的孔洞,所述孔洞位于所述清洗槽内并与所述清洗槽的底部间隔设置,使得药液不能一次排干净,当药液冷却后磷沉积在所述清洗槽底部,不会进入排水管道,从而降低废水处理成本;同时能够避免药液一次性排干后沉积的磷产生自燃,降低安全风险,提供一种结构简单、清洗效果佳且操作简单、能够减少废水处理成本的含磷配件的清洗装置。
附图说明
22.图1是本实用新型提供的含磷配件的清洗装置的整体结构示意图;
23.图2是图1所示的含磷配件的清洗装置的正视图;
24.图3是图2所示的含磷配件的清洗装置的剖面结构示意图。
25.图中:100含磷配件的清洗装置,10清洗槽,20排水口,30排水管,40阀门,50孔洞。
具体实施方式
26.为使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚、明确,以下参照附图,并举实施例对本实用新型进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
27.本技术领域技术人员可以理解,除非特意声明,这里使用的单数形式“一”、“一个”、“所述”和“该”也可包括复数形式。应该进一步理解的是,本实用新型的说明书中使用的措辞“包括”是指存在所述特征、整数、步骤、操作、元件和/或组件,但是并不排除存在或添加一个或多个其他特征、整数、步骤、操作、元件、组件和/或它们的组。应该理解,当我们称元件被“连接”或“耦接”到另一元件时,它可以直接连接或耦接到其他元件,或者也可以存在中间元件。此外,这里使用的“连接”或“耦接”可以包括无线连接或无线耦接。这里使用的措辞“和/或”包括一个或更多个相关联的列出项的全部或任一单元和全部组合。
28.在本实用新型实施例的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型实施例和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型实施例的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
29.在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接或可以相互通信;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。需要说
明的是,在不冲突的情况下,本实用新型中的实施例和实施例中的特征可以相互结合。
30.请结合参阅图1-图3,图1是本实用新型提供的含磷配件的清洗装置的整体结构示意图,图2是图1所示的含磷配件的清洗装置的正视图,图3是图2所示的含磷配件的清洗装置的剖面结构示意图。
31.本实用新型提供一种含磷配件的清洗装置100,其包括清洗槽10、排水口20和排水管30,其中所述清洗槽10用于放置清洗含磷配件的清洗药液;所述排水口20设置在所述清洗槽10的底部;所述排水管30穿设于所述排水口20内。其中,所述排水管30设置供清洗药液排出的孔洞50,所述孔洞50位于所述清洗槽10内并与所述清洗槽10的底部间隔设置,所述排水管30内设置阀门40,所述阀门40位于所述孔洞50的下方。具体的,所述孔洞50设置在所述排水管30的侧面或顶面,在本实施例中,所述孔洞50设置在所述排水管30的侧面。在本实施例中,当需要清洗含磷配件时,将含磷配件放置在所述清洗槽10内进行清洗,在清洗时关闭所述阀门40,排液时打开所述阀门40,使得清洗的药液通过所述孔洞50排除,使得药液不能一次排干净,当药液冷却后磷沉积在所述清洗槽10底部,不会进入排水管道,从而降低废水处理成本。
32.进一步的,所述排水管30为可拆卸式管道。当所述排水管30选择为可拆卸管道,使得所述含磷配件的清洗装置能够在用药液清洗配件后,将把所述清洗槽10内的磷收集干净后,将可拆卸式管道拆除,即可将所述清洗槽10内的废液排干净,操作简单方便。
33.具体的,所述清洗槽10为空心槽体,用于放置待清洗的含磷配件及注入清洗药液。所述清洗槽10的外形轮廓不受限制,可以为盆状,也可以是矩形或类矩形。所述排水口20为设置在所述清洗槽10的底部,更具体的,所述清洗槽10的底部设置凹槽(图未标示),所述凹槽内设置所述排水口20。在所述凹槽内设置所述排水口20,使得后续的排液操作更加方便、快捷。
34.在本实施例中,所述排水管30包括伸出所述排水口20后的延长段,所述排水口20和所述排水管30设置在所述清洗槽10底部的中间位置,便于清洗槽10内的清洗药液排出所述含磷配件的清洗装置100,同时,也便于在拆卸所述排水管30后,能够清洁所述清洗槽10底部的药液。
35.具体的,所述排水管30的阀门40设置在所述排水管30靠近所述排水口20的一端。所述阀门40用于控制清洁药液的排除,当清洁时,需要关闭所述阀门40,当排出清洁药液时,需要打开所述阀门40。进一步的,所述阀门50为球阀。球阀它具有旋转90度的动作,旋塞体为球体,有圆形通孔或通道通过其轴线。球阀在管路中主要用来做切断、分配和改变介质的流动方向,它只需要用旋转90度的操作和很小的转动力矩就能关闭严密。所述球阀具有耐磨性好、密封性好、开关轻且使用寿命长等特点,能够适用于本实施例中。
36.在本实施例中,所述孔洞50距离所述清洗槽10的底部的高度为10-20cm。所述孔洞50设置在靠近所述清洗槽10的高度时,既能够便于排出清洗药液,又能够保留一定量的药液在所述清洗槽10内,避免磷产生自燃。所述孔洞50的设置配合可拆卸的所述排水管30,能够灵活控制需要排出的清洁药液的时间和排出量。
37.在一些实施例中,所述含磷配件的清洗装置100还包括设置在所述清洗槽10内的清洗组件(图未标示)。若只是清洗药液进行浸泡清洗,其清洗效果不佳,因此可以设置所述清洗组件用于配合清洗药液药液对含磷配件进行清洗。进一步的,所述清洗组件为喷淋臂
或超声波发生器。优选的,当所述清洗组件选择为超声波发生器时,所述超声波发生器有若干个并均匀分布在所述清洗槽的四周。
38.在其他实施例中,所述含磷配件的清洗装置100还可以包括循环管(图未示),所述循环管设置在所述清洗槽10的侧面或者底部,所述循环管用于注入清洗药液,便于充分利用清洗药液进行清洁含磷配件。
39.在其他实施例中,所述含磷配件的清洗装置100还可以包括盖板(图未示),所述盖板设置在所述清洗槽10上并覆盖所述清洗槽10的上部,从而在所述含磷配件的清洗装置100进行作业时能够防止液体溅出来。
40.在其他实施例中,所述含磷配件的清洗装置100还可以包括加热器(图未示),所述加热器设置在所述清洗槽10内部,所述加热器用于加热清洗药液,促进清洁反应及速率。
41.在其他实施例中,所述含磷配件的清洗装置100还可以包括过滤装置(图未示),所述过滤装置设置在所述排水管30内,所述过滤装置包括过滤网,所述过滤网设置在所述排水管30靠近所述排水口20一端。
42.本实用新型提供的所述含磷配件的清洗装置100的工作原理如下:
43.当清洗含磷配件时,将所述阀门40关闭,清洗后排液时将所述阀门40打开,清洗药液从所述孔洞50流经所述排水管30通向所述排水口20,由于孔洞50距离所述清洗槽10的底部还有一段距离,清洗药液还会残留在所述清洗槽10内,避免磷暴露在空气中自燃。当药液冷却后,磷沉积在所述清洗槽10中,磷不会随清洗药液进入管道,从而避免磷堵塞所述排水管30,同时降低废水处理成本。当把所述清洗槽10内的磷处理干净后,拆除可拆卸式的排水管30,将清洗槽10内的废液通过所述排水口20排出。
44.总的来说,本实用新型提供的含磷配件的清洗装置100,其通过设置清洗槽10、排水口20和排水管30,并在所述排水管30的表面设置供液体排出的孔洞50,所述孔洞50位于所述清洗槽10内并与所述清洗槽10的底部间隔设置,使得药液不能一次排干净,当药液冷却后磷沉积在所述清洗槽10底部,不会进入排水管道,从而降低废水处理成本;同时能够避免药液一次性排干后沉积的磷产生自燃,减小安全风险,提供一种结构简单、清洗效果佳且操作简单、能够减少废水处理成本的含磷配件的清洗装置100。此外,当所述排水管30选择为可拆卸管道,使得所述含磷配件的清洗装置100能够在用药液清洗配件后,将把所述清洗槽10内的磷收集干净后,将可拆卸式管道拆除,即可将所述清洗槽10内的废液排干净,操作简单方便。
45.最后应说明的是:以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。