中国第一台!高端晶圆激光切割设备核心部件100%国产化

中国第一台!高端晶圆激光切割设备核心部件100%国产化

快科技7月12日消息,据武汉东湖国家自主创新示范区官方账号“中国光谷”, 华工科技近期制造出了我国首台核心部件100%国产化的高端晶圆激光切割设备,在半导体激光设备领域攻克多项中国第一。

据华工科技激光半导体产品总监黄伟介绍,半导体晶圆属于硬脆材料,一个12英寸(300毫米)的晶圆上有数千颗甚至数万颗芯片,而晶圆切割和芯片分离,无论采取机械或激光方式,都会因物质接触和高速运动而产生热影响和崩边,从而影响芯片性能,因此,控制热影响的扩散范围和崩边尺寸是关键。

据悉,晶圆机械切割的热影响和崩边宽度约20微米,传统激光在10微米左右。

此外,切割线宽的减少,意味着晶圆能做到更高的集成度,从而使得半导体制造更经济、更有效率。